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揭秘半導體領域是如何防靜電的
日期：2025-08-09 19:47
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摘要：揭秘半導體領域是如何防靜電的？?在半導體制造的整個流程里，靜電帶來的三大問題尤為突出，分別是微粒污染、靜電放電造成的器件損壞
揭秘半導體領域是如何防靜電的？在半導體制造的整個流程里，靜電帶來的三大問題尤為突出，分別是微粒污染、靜電放電造成的器件損壞，以及由此引發的設備停機。所以，對靜電進行有效控制勢在必行。國際半導體發展路線圖和 SEMI 標準都提出了建議，要將靜電控制在合適的水平。靜電控制方案包含接地、使用靜電耗散材料以及空氣電離化等方式。為了適應半導體生產快速發展的需求，靜電耗散材料和空氣離子器也在不斷更新迭代。 在半導體器件生產車間，芯片一旦吸附灰塵，超大規模集成電路的產量就會大幅下降。雖然車間操作人員會穿著潔凈的工作服，但如果人體帶有靜電，就很容易吸附灰塵和污垢。這些灰塵和污垢被帶到操作現場后，會影響產品質量，導致產品性能變差，成品率大幅降低。要是吸附的灰塵顆粒半徑大于線路寬度，且薄膜厚度較薄，產品就極有可能報廢。 因此，在加工、生產和包裝過程中，建立靜電保護系統是很有必要的。集成電路封裝生產線對靜電的要求更為嚴格。為了保證生產線正常運行，潔凈車間應全部采用防靜電建筑材料進行裝修，所有進出潔凈車間的人員都要配備防靜電服裝等硬件防護措施。此外，包裝企業可以依據相關國家標準，并結合自身實際情況，制定企業內部標準或具體的防靜電要求，以配合包裝生產線的正常運轉。 由于除塵防靜電設備種類繁多，選擇適合自身的產品主要取決于生產線的實際條件。以下介紹幾種兼具除塵和防靜電功能的裝置：
離子風機：主要作用是消除靜電，具有出色的防靜電性能，能防止靜電污染和破壞。適用于電子生產線，可避免靜電放電（ESD）現象，也是維修臺等個人型靜電防護區域（EPA）的理想設備。它專為局部區域設計，具有體積小、重量輕、安裝方便等特點。
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離子風棒：長度僅 180mm，卻能實現 600-800mm 范圍的靜電消除，適用于狹小空間對快速除靜電的需求。
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防靜電工作服：這是專為減少靜電危害而設計的防護服裝，采用導電纖維與滌綸混紡制成。它能將人體產生的靜電通過導電材質快速釋放，避免靜電積累引發火花或吸附灰塵。
其優點十分明顯：一是高效防靜電，能有效降低靜電放電對電子元件、半導體芯片等敏感產品的損害風險，保障生產質量；二是防塵性好，面料致密且不易產生纖維脫落，可減少人體攜帶的灰塵進入潔凈車間，適合電子、醫藥等對環境潔凈度要求高的場景；三是穿著舒適，多數采用透氣面料，在具備防護性能的同時，也方便人體活動，適合長時間作業；四是通用性強，可根據不同行業的需求設計成連體服、分體服等樣式，滿足車間操作、實驗室工作等多種場景的防護需求。
